Ai快讯 普达特科技(00650)发布公告，公司已向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备。该设备应用于28/14/7nm等先进制程的关键清洗工艺，市场目前主要由海外设备供应商占据。
公司研发的这台设备，经过前期测试验证，技术性能达到对标海外设备的水平，具备高温控制能力，可覆盖至190℃的高温硫酸清洗工艺。设备还具备集成化与兼容性设计，采用灵活的应用配置，能为客户提供解决方案。
此外，公司近期向4家客户交付5台单片晶圆清洗设备。其中，向一家12英寸晶圆代工厂客户交付一台OCTOPUS设备，用于28nm制程的关键清洗道次；向一家12英寸高性能模拟与功率器件客户交付一台OCTOPUS设备与一台CUBE设备。
在上述交付的订单中，有两台设备订单来自现有客户的重复订单。公司还获得一台OCTOPUS设备重复订单，该设备即将交付。
上述订单的收入均暂未确认。未来，公司将继续完成半导体清洗设备的订单交付与验收，发挥技术团队在半导体湿法技术方面的优势，扩大高质量半导体客户在关键应用领域对公司设备的采用。
（AI撰文，仅供参考）
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