盛美上海推出首款KrF前道涂胶显影设备
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瑞财经
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2025-09-08 09:04
Ai快讯 南方财经9月8日消息，据人民财讯报道，盛美上海于今日宣布推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF，此设备旨在支持半导体前端制造。该系统的推出标志着盛美上海光刻产品系列得到重要扩充，具备高产能、先进温控技术以及实时工艺控制和监测功能。值得一提的是，首台设备系统已于2025年9月交付给中国头部逻辑晶圆厂客户。
（AI撰文，仅供参考）
来源：瑞财经
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