晶盛机电12英寸碳化硅外延设备交付
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乐居财经
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2025-12-24 12:28
Ai快讯 12月24日消息，晶盛机电的12英寸单片式碳化硅外延生长设备交付给碳化硅（SiC）外延晶片生产商瀚天天成。
该设备使用的12英寸衬底由浙江晶瑞SuperSiC提供。
此次研发的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8、12英寸SiC外延生产。
（AI撰文，仅供参考）
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