中科仪：拟实施集成电路干式真空泵扩产项目 项目总投资达4.23亿元
财中社
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2026-10-20 19:26
财中社10月20日电 中科仪（920186）发布公告，公司拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目，项目总投资为4.23亿元。
其中，公司及上海分公司拟投资1.91亿元，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资2.32亿元。项目建设期为3年，第一年投资金额为3.36亿元，第二年投资金额为7671万元，第三年投资金额为994万元。
该项目旨在提升干式真空泵核心零部件自主制造能力，降低外协依赖，优化产品成本结构，从而提升整体盈利水平。
2026年中期，中科仪实现收入6.23亿元，归母净利润18.39亿元。
来源：财中社
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