Ai快讯 华海清科(688120.SH) 近日宣布,公司化学机械抛光(CMP)装备出机数量累计超过800台。
这些装备涵盖了公司Universal-H300、Universal-S300等多款主力机型和最新款机型,不仅全面覆盖逻辑、3D NAND存储、DRAM存储等主流产品线,还成功切入大硅片、第三代半导体、CIS、MEMS、MicroLED以及先进封装等领域头部客户供应链,已实现国内主流集成电路制造产线的全覆盖和批量化应用。
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