Ai快讯 人民财讯10月5日消息，沈阳新松机器人自动化股份有限公司（简称“机器人”）在半导体装备领域取得重大突破。该公司已拥有真空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产品的完全自主知识产权，其自主攻克的新一代真空机械手技术，性能对标国外先进产品，不仅技术指标比肩国际同类产品，更实现了部分指标的超越，能为全球半导体设备供应商提供高效可靠的自动化解决方案。
为独立发展半导体装备业务，“机器人”于2023年成立了沈阳新松半导体设备有限公司（简称“新松半导体公司”）。新松半导体公司打造了具备完全自主知识产权的自动化核心系列产品，涵盖大气机械手、真空机械手系列、EFEM、真空传输平台等。这些产品可广泛应用于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链，为客户产业链及供应链安全稳定提供多元保障。
目前，新松半导体公司在多个产品领域均有显著进展。在真空直驱机械手方面，两轴、三轴真空直驱机械手产品已全面导入终端FAB厂，进入先进制程产线示范应用阶段；四轴真空直驱机械手也已完成自主研发。真空传输平台系列产品，如真空直驱机械手、真空装载机（VPH）、真空预对准机（ALIGNER），已通过工艺设备厂客户端验证，并随其批量导入FAB厂应用。大气类产品中，设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面投入市场量产应用。在零部件方面，集成产品如立式炉，以及由大气aligner、LOADPORT组成的EFEM产品等已开始模块化及标准化定型，逐步实现从核心零部件到集成产品的标准化。
（AI撰文，仅供参考）
重要提示：本文仅代表作者个人观点，并不代表乐居财经立场。 本文著作权，归乐居财经所有。未经允许，任何单位或个人不得在任何公开传播平台上使用本文内容；经允许进行转载或引用时，请注明来源。联系请发邮件至ljcj@leju.com，或点击【联系客服】
