Ai快讯 11月22日消息，近日，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备——GINKGOIFM - P300出货HBM客户端。
GINKGOIFM - P300的推出，使我国在该领域实现重大突破，打破国外厂商长期垄断。该设备突破国内设备对超高翘曲晶圆、低反射率晶圆的量测限制，同时支持键合后晶圆、化合物半导体衬底（SiC/GaAs）的全参数检测。
（AI撰文，仅供参考）
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